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本实用新型公开了一种对高精度平面进行快速检测的装置，包括底板、平面气浮轴承、防护外壳、喷嘴、椅子、配重接口和控制组件，防护外壳设置在底板上，椅子设置在防护外壳上，底板下设置平面气浮轴承，喷嘴提供检测装置的前进和转向动力，提供前进动力的喷嘴对...
该专利属于北京精密机电控制设备研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京精密机电控制设备研究所授权不得商用。

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