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挥发性氨基烷氧基镍络合物及使用其沉积镍薄膜制造技术
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下载挥发性氨基烷氧基镍络合物及使用其沉积镍薄膜的技术资料
文档序号:1521345
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一种式(Ⅰ)的挥发性氨基烷氧基镍络合物,其可以通过金属有机化合物蒸汽沉积(MOCVD)形成具有改进质量的镍薄膜。...
该专利属于韩国化学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过韩国化学研究院授权不得商用。
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