下载一种紫外365nm窄带滤光片元件的技术资料

文档序号:15208524

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本实用新型公开了一种紫外365nm窄带滤光片元件,包括熔石英基板,熔石英基板的一面设有高反射膜,熔石英基板的另一面设有增透膜,高反射膜包括逐层交替堆叠的25层HfO2材料和25层SiO2材料,高反射膜的25层HfO2材料的总厚度为1126....
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