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本发明是一种数字光栅与物理光栅相结合微小物体表面三维测量系统，由计算机、准直激光束、数字微镜阵列（DMD）、数字光栅、物理光栅、三个透镜组、待测物体、载物台、CCD图像探测器组成。计算机生成明暗相间图形传输到DMD，准直激光束照射DMD反射...
该专利属于西南科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西南科技大学授权不得商用。

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