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本发明涉及用于检查样本的装置和方法。该装置包括：用于保持样本(15)的样本支持器(150)，用于生成基本带电粒子束(3)阵列的多波束带电粒子发生器，用于将该基本带电粒子束阵列定向到单独聚焦到该样本上的基本带电粒子束阵列的电磁透镜系统(13)...
该专利属于代尔夫特理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过代尔夫特理工大学授权不得商用。

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