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用于移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法技术
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文档序号:15196276
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本发明涉及用于移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法。所述方法包括以下步骤:步骤a)氧化金属沉积物;步骤b)注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质,在步骤a)期间至少部分地实施所述步骤b)。所述移除方法的特征在于,在步骤b)中,根据脉冲...
该专利属于库伯斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过库伯斯股份有限公司授权不得商用。
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