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一种鳍式场效应管的形成方法，包括：提供衬底，衬底包括第一区域和位于相邻第一区域之间的第二区域，衬底表面形成有若干分立的鳍部，且相邻鳍部之间的距离相同；在相邻鳍部之间的衬底表面填充满第一介质层，第一介质层覆盖鳍部侧壁表面；去除第二区域的第一介...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。