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本发明提供一种光刻装置和方法，在照明系统与掩膜板之间增设照明切换机构，在对准时，将照明切换机构中的照明光机结构放置于照明系统下方，将照明光经过衰减后输出并被分光后只照射对准标记，并与基准标记对准；在曝光时，将照明切换机构中的遮光板放置于照明...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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