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本发明的课题是提供一种耐热性和保存稳定性优异的牺牲膜用组合物与使用了其的半导体装置的制造方法。本发明的解决手段是如下：一种牺牲膜用组合物，其包含有：包含着含有具有孤对电子的氮原子的重复单元的聚合物、以及溶剂，其中特定的过渡金属离子含有率非常...
该专利属于AZ电子材料（卢森堡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料（卢森堡）有限公司授权不得商用。

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