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一种大面积高质量完全单层的二硫化钨的制备方法技术
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文档序号:15187333
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本发明涉及二硫化钨领域,具体为一种大面积高质量完全单层的二硫化钨的制备方法。采用化学气相沉积技术,以对钨溶解度极低的金为生长基体,在常压下利用钨源和硫源高温下在金基体表面催化反应,自限制生长完全单层的二硫化钨的大尺寸单晶和大面积连续薄膜。利...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。
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