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本实用新型涉及一种基于图像处理的晶圆检测装置，包括计算机、固定装置、COMS相机、设置于COMS相机上的显微筒镜、光源、三维平台、电机控制机箱以及设置到显微筒镜底部的显微物镜，COMS相机位于显微筒镜的顶端，且COMS相机和显微筒镜连接并固...
该专利属于湖北器长光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北器长光电股份有限公司授权不得商用。

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