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提供铝(Al)烃前驱组合物，其可用于过渡金属碳化物薄膜，例如掺铝过渡金属碳化物薄膜，诸如掺铝碳化钛薄膜的气相沉积。在一些实施方案中，所述前驱组合物包含三叔丁基铝(TTBA)的一种或多种异构体。具体来说，在一些实施方案中，所述前驱组合物包含至...
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