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本申请公开了一种检验植球质量的装置，包括：底座，所述底座上安装有导轨和撑杆，所述撑杆沿竖直轴线方向开有滑槽，所述滑槽面向所述导轨的一侧安装有毛刷。本实用新型提供的检验植球质量的装置能够在基板植球后，切割前进行植球质量的检验，通过以一定转速旋...
该专利属于南通富士通微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通富士通微电子股份有限公司授权不得商用。

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