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本发明提供一种生产机台的管控系统及管控方法，管控系统包括用于收集WAT数据和CP数据的及时数据收集系统；去除WAT数据和CP数据中的异常值并对剩下的数据分别进行对比分组的数据转换模块；将WAT数据和CP数据中每一组数据分别与预设定的基准进行...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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