下载高性能快速排气头的技术资料

文档序号:15117440

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本发明提出了一种高性能快速排气头,该快速排气头连接第一排气管和第二排气管。快速排气头包括汞储存装置、夹持装置、氩气系统、底板和真空管。夹持装置、氩气系统分别安装在底板上,真空管的一端用于连接真空系统,另一端与夹持装置的第一空腔密封连接。本发...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。

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