温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种防止蚀刻机台做薄片工艺糊胶的蚀刻方法，该方法的原理是通过将蚀刻加工的总时间分为若干次短时间的蚀刻加工，并再每一次短时间的蚀刻加工完成后增加氦气冷却步骤，使晶片(wafer)表明温度不会达到糊胶的温度从而解决薄片糊胶的问题，只...
该专利属于苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。