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行星式转动溶液法晶体生长装置制造方法及图纸
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下载行星式转动溶液法晶体生长装置的技术资料
文档序号:15111949
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本发明提供了一种晶体在溶液中做行星式转动的生长装置,该装置包括:生长容器、行星式旋转水封、行星驱动机构和晶体托盘。行星驱动机构输出端通过支撑杆与晶体托盘相连,驱动晶体托盘在生长容器中作自转和行星式公转。本发明中,晶体自转和行星式公转由两个电...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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