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遵守设计规则的层标记制造技术
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文档序号:15111018
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本发明涉及一种遵守设计规则的层标记,其揭示用于在半导体设计中包括人类可读文字的方法及器具,该半导体设计不仅为印刷在晶圆上的机器可读者,亦为人类自晶圆可读者,其取决于待印刷的层而为遵守设计规则。具体实施例包括接收包括层标记的半导体设计,层标记...
该专利属于格罗方德半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过格罗方德半导体公司授权不得商用。
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