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本发明提供一种流量控制阀，该流量控制阀在流路与层叠压电驱动器的中间设置由热导率为20W/mK以下的材料形成的第1热屏蔽件和由空间形成的第2热屏蔽件，优选的是，进一步设置热导率为20W/mK以下的第3热屏蔽件。由此，即使在高温的工艺气体中使用...
该专利属于日立金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日立金属株式会社授权不得商用。

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