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本发明公开了一种基于LTCC的光子微流检测芯片，属于微系统传感检测领域。该芯片在LTCC单片基板上实现了微光源、光纤系统、光子传感系统、探测器芯片、信号处理芯片以及温控板的集成。其中，微流通道和光纤系统制造于基板内部，从而实现了光子在单片微...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十四研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十四研究所授权不得商用。

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