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一种振动电容式静电传感器制造技术
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文档序号:15100211
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本实用新型公开了一种振动电容式静电传感器,包括:感应极板,用于接近被测物感应输出静电信号;绝缘固定件,一端与所述振动装置固定,另一端与所述感应极板固定;振动装置,用于根据控制信号周期性振动带动所述感应极板沿着所述绝缘固定件的长度方向振动,其...
该专利属于王德言所有,仅供学习研究参考,未经过王德言授权不得商用。
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