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一种大尺寸晶体的生长装置制造方法及图纸
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文档序号:15094384
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本实用新型公开了一种大尺寸晶体的生长装置,包括炉腔,所述炉腔中安装有坩埚,所述坩埚外层还包裹有保温层,所述坩埚与保温层之间设置有加热器,所述保温层与炉腔之间还设置有一圈低频电磁搅拌器和中频加热器,所述加热器与加热器电源连接,所述低频电磁搅拌...
该专利属于贵州皓天光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过贵州皓天光电科技有限公司授权不得商用。
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