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本实用新型公开了一种预加热式外延炉，该外延炉的反应室内设置大盘及位于大盘中心上方的注入器，大盘上设置若干用于放置晶片的小盘基座，大盘底部设置有加热线圈，至少一进气管路与注入器相通并通过注入器向反应室内输入源气，其中进气管路上设置有预加热装置...
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