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本实用新型公开了一种氢氟酸反应釜专用冷却装置。包括支撑组件、动力组件以及冷却水管道，支撑组件包括气缸以及连接件，连接件包括一号支撑块和二号支撑块，一号支撑块上开设通孔，通孔内壁上开设凹槽，冷却水管道穿设在通孔内，冷却水管道外壁上设置凸块，冷...
该专利属于浙江尚能电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江尚能电子材料有限公司授权不得商用。

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