下载一种研磨介质的技术资料

文档序号:15088605

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本发明提供了一种研磨介质,包括一主球体,在主球体的表面上有若干个切面,通常切面为圆形且均匀分布在主球体的表面上。该研磨介质可由氧化锆及其复合锆、氧化铝、硅酸锆、碳化硅、氮化硅或氮化铝中的至少一种材料制成。本发明的研磨介质呈足球状,形状新颖。...
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