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基于分光镜的双光路三维散斑干涉系统技术方案
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下载基于分光镜的双光路三维散斑干涉系统的技术资料
文档序号:15081301
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本实用新型公开了一种基于分光镜的双光路三维散斑干涉系统,该系统包括激光器、第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜、第四分光镜、第五分光镜、第一全反镜、第二全反镜、第三全反镜、第四全反镜、第一扩束镜、第二扩束镜、放大系统以及CCD摄像机。本实用新...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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