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本发明涉及晶圆加工领域，具体地说是一种在晶圆生产时使设备内部气流流向平稳的微环境控制系统，包括风机、整流板、风扇和风压传感器，其中风机设置于晶圆输送单元的上方，晶圆输送单元的底面上设有整流板，整流板上均布有通风孔，整流板内设有风扇，用于检测...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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