下载液相生长氮化镓晶体的装置的技术资料

文档序号:15075713

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本发明一种液相生长氮化镓晶体的装置,包括:反应釜、置于反应釜外的加热装置、放置于反应釜内的坩埚、坩埚内装的生长溶液和籽晶、及电磁感应驱动搅拌装置。所述搅拌装置,有两种:第一种为电磁感应装置驱动搅拌器旋转型,第二种为电磁感应装置驱动坩埚旋转型...
该专利属于东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学东莞光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学东莞光电研究院授权不得商用。

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