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一种用于加工衬底的设备(100)，所述设备具有：-至少一个真空腔室(10)，在所述至少一个真空腔室中能够调节限定的气压；-用于加热所述衬底的加热装置；以及-布置在所述真空腔室(10)之外的激光器装置(20)，其中，所述激光器装置(20)相对...
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