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基板清洗装置、基板清洗方法以及基板处理装置制造方法及图纸
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文档序号:15075149
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公开一种基板清洗装置,该基板清洗装置使基板旋转,并使清洗部件与旋转的基板接触而清洗基板。基板清洗装置具有:自清洁部件,该自清洁部件设置于支承所述清洗部件的臂,与所述清洗部件接触而对清洗部件进行自我清洗;以及移动机构,该移动机构设置于支承所述...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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