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一种沟槽隔离结构的形成方法，包括：提供衬底，所述衬底表面具有掩膜层，所述掩膜层暴露出部分衬底表面；以所述掩膜层为掩膜，刻蚀所述衬底，在所述衬底内形成沟槽；在所述沟槽的侧壁和底部表面形成衬垫层；在形成所述衬垫层之后，对所述掩膜层的侧壁进行刻蚀...
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