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本发明涉及一种用于制造由合成的碳同素异形体基材料(215，315，415)制成的单件式微机械部件(221，321，421，523，525)的方法，其特征在于，包括下述步骤：(a)形成基底(201，301，401)，该基底在至少三个层级(N1...
该专利属于尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司授权不得商用。

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