下载一种半导体气体传感器的气-液界面加工方法的技术资料

文档序号:15055045

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本发明提出了一种半导体气体传感器的气‑液界面加工方法包括以下步骤:配制前驱液;利用紫外光照射前驱溶液在溶液表面制备薄膜;用干净的玻璃片捞起表层的薄膜并转移到去离子水表面对薄膜进行洗涤;用陶瓷管将去离子水清洗过的薄膜捞起;将附有薄膜的陶瓷管焊...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。

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