温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种光波导探测器与光模块，包括：沿第一方向堆叠的波导层、上包层和电极层；波导层包括硅波导层和锗波导层，锗波导层位于硅波导层和上包层之间；硅波导层包括沿第二方向排列的P型硅高掺杂区、P型硅轻掺杂区、N型硅轻掺杂区和N型硅高掺杂区，第...
该专利属于华为技术有限公司;北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司;北京大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。