下载基于纳米材料的传感器的技术资料

文档序号:15051898

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一种基于纳米材料的传感器,包括:具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的半导体衬底;位于第一表面的第一介质层;位于第二表面的第二介质层;位于第一介质层表面的传输线,且传输线具有间隔;填充所述间隔的MoS2纳米结构;位于第二介质层的接地层,所...
该专利属于江西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过江西师范大学授权不得商用。

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