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本发明公开了一种共焦划痕在线检测方法，其中，将共焦位移计测头安装在音圈电机驱动滑台上，使用音圈电机驱动滑台带动共焦位移计测头对被检测物体表面进行高度方向数据扫描测量；将音圈电机驱动滑台的移动坐标，按照预设的固定间距对应每个共焦位移计测头测量...
该专利属于上海思信科学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海思信科学仪器有限公司授权不得商用。

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