下载碳纳米管薄膜晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:15032180

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本发明公开了一种碳纳米管薄膜晶体管及其制作方法。其中,该碳纳米管薄膜晶体管包括:源极和漏极;对应所述源极和所述漏极之间的沟道区域间隔设置的多个带状凸起,所述多个凸起沿所述沟道的宽度方向依次排列,所述凸起沿所述沟道的长度方向延伸;以及设置在所...
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