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本发明公开了一种基于连续蒸发工艺制备梯度带隙光吸收层的方法和装置，该方法和装置基于连续蒸发工艺，通过控制Ga、In和Cu等金属蒸发源的蒸发速率，设计各元素的蒸发顺序以及工艺流程，可在柔性衬底以及刚性衬底上连续制备出具有合适带隙梯度的大面积C...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。

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