下载具有集成的热变形和振动补偿驱动器的主动补偿模块的技术资料

文档序号:15025200

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本申请涉及具有集成的热变形和振动补偿驱动器的主动补偿模块。本申请公开了一种主动补偿装置。根据本发明的示例性实施方案的主动补偿装置设置在加工产品安装部分和平台之间,并包括:主体,其中形成有容纳空间;设置在容纳空间的内侧的MR驱动器,并且所述M...
该专利属于韩国机械研究院所有,仅供学习研究参考,未经过韩国机械研究院授权不得商用。

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