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本发明涉及物理气相沉积制备叶片热障涂层的控制系统与工艺方法，系统包括顺序连接的工艺控制系统、高压电子束发生器、高压电子束，以及与工艺控制系统顺序连接的工艺动作控制器、工艺动作执行机构，还包括与高压电子束所作用的涂层靶材，用于在基体工件上生成...
该专利属于中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司授权不得商用。

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