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新型液封提拉法晶体生长装置制造方法及图纸
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下载新型液封提拉法晶体生长装置的技术资料
文档序号:15020214
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本实用新型公开了一种新型液封提拉法晶体生长装置,包括炉体,设置在炉体内的石墨坩埚、石墨埚托、石英坩埚、石英埚托,设置在炉体顶部插进石英坩埚的籽晶轴、设置在石墨埚托外的液封流体导入装置,还包括至少一个温度感测器、液体厚度感测器、微控制器、显示...
该专利属于重庆工业职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过重庆工业职业技术学院授权不得商用。
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