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本实用新型公开了一种MOCVD中用于放置硅衬底的石墨盘，涉及MOCVD用石墨盘的技术领域。该石墨盘包括石墨盘盘体，在石墨盘盘体上设有多个用于放置硅衬底的圆形凹槽；每个凹槽中包括：槽体、底面、第一侧壁、圆台以及第二侧壁，其中，底面为位于槽体底...
该专利属于晶能光电（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶能光电（常州）有限公司授权不得商用。

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