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一种Fe-Al合金溅射靶，其特征在于，Al含量为1～23原子％，氧含量为100重量ppm以下，其余为Fe和不可避免的杂质。将Al为1～23原子％、其余为Fe和不可避免的杂质的Fe原料和Al原料在熔化温度为1200～1600℃、平均升温速度为...
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