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本实用新型公开了一种三氯化铁蚀刻废液再生装置，包括用于接收废液并进行还原反应的第一电解室和用于进行氧化反应并生成三氯化铁蚀刻液的第二电解室，所述第一电解室和所述第二电解室之间设置有隔离两者的阴离子交换膜，所述第一电解室和所述第二电解室通过所...
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