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本发明实施例公开了一种传感器模块及其制作方法，该方法包括：将传感器芯片以设定位置设置于基板上；在所述传感器芯片外围的设定位置处设置预置空腔结构，其中，所述预置空腔结构将基板上表面分割为包括所述传感器芯片的第一区域，以及所述第一区域外围的第二...
该专利属于广东合微集成电路技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东合微集成电路技术有限公司授权不得商用。

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