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超高性能内插器制造技术
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文档序号:14983852
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本发明提供了一种互连部件,所述互连部件包括:半导体材料层,所述半导体材料层具有第一表面和第二表面,所述第二表面与所述第一表面相对并且在第一方向上间隔开。至少两个金属化通孔延伸穿过所述半导体材料层。所述至少两个金属化通孔中的第一对在正交于所述...
该专利属于伊文萨思公司所有,仅供学习研究参考,未经过伊文萨思公司授权不得商用。
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