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本申请公开了一种薄膜体声波谐振器(FBAR)，是在衬底的上方具有空腔，在空腔的上方还具有下电极、上电极以及位于两者中间的压电层。所述空腔是先填充牺牲层再移除牺牲层而得到的，并且牺牲层采用能够被氧等离子体刻蚀工艺去除的材料；所述下电极、上电极...
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