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北京兴迪仪器有限责任公司
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SF6气体纯度仪气路控制模块制造技术
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文档序号:14979809
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本实用新型提供了一种进行气体压力测量、流量控制及测量的气路控制模块,它由材质为304的阀岛(1)作为基座,被测气体通过进气管(12)、进气管接头(11)进入电磁比例阀(10),然后通过测量前接头(9)、测量进气管(8)进入测量模块(7)进行...
该专利属于北京兴迪仪器有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京兴迪仪器有限责任公司授权不得商用。
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