下载SF6气体纯度仪气路控制模块的技术资料

文档序号:14979809

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种进行气体压力测量、流量控制及测量的气路控制模块,它由材质为304的阀岛(1)作为基座,被测气体通过进气管(12)、进气管接头(11)进入电磁比例阀(10),然后通过测量前接头(9)、测量进气管(8)进入测量模块(7)进行...
该专利属于北京兴迪仪器有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京兴迪仪器有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。