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本申请公开了一种MEMS麦克风芯片，包括基底层、背极层、振膜层和第一绝缘层，第一绝缘层固定于背极层的边缘和振膜层的边缘之间，背极层包括导体背极层和绝缘背极层，绝缘背极层位于振膜层和导体背极层之间，用于阻隔导体背极层和振膜层，背极层通过绝缘背...
该专利属于歌尔声学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔声学股份有限公司授权不得商用。

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