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本发明属于薄膜渗透率测量技术领域，并公开了一种薄膜渗透率测量装置，包括机械泵、第一真空阀、第二真空阀、气源、球阀、待测气体室、第一真空计、放样处、积累室、第二真空计、第一气动挡板阀、分子泵、第二气动挡板阀、测量室、针阀和四级杆质谱仪。本发明...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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